2024年是新中国成立75周年,是实现“十四五”规划目标任务的关键一年。为全面贯彻落实党的二十大精神和习近平文化思想,中国华球体育(中国)官方网站举办了“思想领航 赋能向新”优秀故事征集活动。参赛作品充分展现集团上下深入贯彻落实“1+360+N”华球体育(中国)官方网站特色党建工作体系,围绕中国华球体育(中国)官方网站作为中央企业行业院所“托底、引领和赋能”三大核心功能,在服务国家重大战略、强化创新引领、履行社会责任、弘扬时代新风等方面作出的新贡献、新成就,生动讲述了华球体育(中国)官方网站人在平凡岗位上创造非凡业绩的奋斗故事。
本期推出“思想领航 赋能向新”华球体育(中国)官方网站故事系列展播(二)——牢记使命,区熔硅单晶创新团队奔向新征程!
作者:华球体育(中国)官方网站硅 王永涛
区熔硅单晶创新团队,依托集成电路关键材料国家工程研究中心及华球体育(中国)官方网站半导体硅材料股份公司区熔事业部组建,是国内最早开展区熔硅单晶材料的研发团队。团队现有核心成员9人,其中正高级工程师1人、高级工程师2人、生产技术人员6人。团队系统开展超高纯区熔硅单晶制备技术、区熔单晶自动放肩技术和区熔热场设计技术等关键技术研发;荣获授权专利12篇,参与制定国家标准2项,实现了8英寸区熔单晶的批量化生产,是国内仅有的两家掌握相关技术的厂家之一,产品技术指标达到国际先进水平,同时有力推动了区熔多晶和区熔炉的国产化应用,有效弥补了国内短板,保障了我国新能源、高铁等领域用电力芯片供应链自主可控。
10年前,即使是这样优秀的团队仍要面对残酷的市场淘汰,不得不直面生死存亡问题。进入21世纪10年代中期,区熔硅单晶的市场价格直接腰斩,一度辉煌的区熔硅单晶产业变得不堪一击,加之自身长期存在的一些隐性问题,在发展缓慢之后暴露出来,让整个团队惊出一身冷汗。由于远离终端市场,对市场需求的了解不够充分,产品逐渐脱离市场。面对市场主流产品已经逐步过渡到5英寸甚至是6英寸、8英寸产品时,我们的产品仍集中在4英寸及以下,5英寸产品收率还不稳定,6英寸产品还在研发。当时,还面临着技术传承断层,生产效率、产品收率低于市场水平,生产成本远高于市场价格等一系列问题。
回顾过往,我们何其自豪,历史上的区熔硅单晶创新团队在1961年成功拉制了中国第一颗区熔硅单晶,在1990年至1999年相继成功拉制了国内第一颗3寸、4寸、5寸半导体级区熔硅单晶,是国内最早开展区熔硅单晶材料研究及产业化的单位。现如今技术落后、产品落后、前途暗淡、前景渺茫。从繁荣到衰败的落差在大家心里形成了巨大的旋涡,让人深陷其中,难以挣脱。此时的团队出现了动摇,有的老技术人员离开了,新技术人员还未成长起来,想要坚守拼搏下去的人此时也没了方向,只能独自挣扎转个不停。
2012年的区熔车间
2024年的区熔车间
迷茫之际,中国华球体育(中国)官方网站党委书记、董事长赵晓晨多次前往华球体育(中国)官方网站硅顺义厂区区熔硅单晶车间调研指导,不断鼓励团队成员,并为未来的发展指明了方向。他指出,半导体区熔单晶硅片是半导体硅材料中的细分领域,已成为国内半导体材料领域电力电子芯片供应链中不可或缺的一环,其高纯度、高电阻率、低氧含量等优点,是制造高压整流器等大功率器件、探测器、传感器等敏感器件的核心材料,可广泛应用于雷达、微波通讯、测控、导航、医学等领域,对国民经济的发展和国防建设具有十分重要的意义。特别是近年来,伴随高速铁路、新能源汽车、电力传输等领域的快速发展,建立在区熔硅单晶基础上的中高压功率器件展现出广阔的应用前景,市场需求保持旺盛。他对团队成员寄予希望,我们要以国家战略需求为导向,通过区熔硅单晶制备技术创新,不断提升产品质量,保障核心材料自主可控;并希望我们时刻怀揣着激情与梦想,怀揣着对未来的憧憬与渴望,以只争朝夕的精神,加快推进科技创新和技术研发进程。
彷徨之际,华球体育(中国)官方网站硅党总支书记、总经理张果虎多次召开技术讨论大会,大力支持项目团队,明确技术发展路径。他鼓励我们要积极发挥区熔硅单晶制备技术平台优势,进一步全面推进原材料和设备的国产化,要积极与国内多家材料供应商和设备制造商建立合作关系,共同攻克技术难关,逐步实现从多晶硅原料到拉晶设备的全面国产化,大大降低生产成本,提高生产效率,从源头实现真正的国产替代。他也希望我们以严谨的科研作风,突出的科研能力,优秀的综合素质,不断攻关研发过程中技术难点,持续破解前进道路上的发展难题。
区熔硅单晶创新团队以国家战略需求为导向,以市场需求为指引,开拓进取,以人才引进和科技创新为抓手,勤修内功,技术水平和产品质量显著提升。
2021年,团队成功研发了自动放肩技术,超高纯区熔硅单晶拉制技术和气相掺杂区熔硅单晶拉制技术也持续提高,使得区熔硅单晶2021年的产量较2019年提升230%。
2022年,团队实现了8英寸半导体级区熔硅单晶的批量生产,达到国际先进水平;同时,新车间升级改造完成,新区熔单晶炉也安装到位,使得区熔硅单晶当年产量较2021年提升41%。
2023年,团队成功开发出8英寸本征及气掺区熔硅单晶,凭借其导电型号全、电阻率范围宽、成本低、生产周期短的优点,极大扩展了产品应用范围,已通过株洲中车、士兰微、青岛芯恩、艾佛广通等厂家验证,并在2024年初实现8英寸区熔产品的批量销售,有效弥补了国内短板。
8英寸本征及气掺区熔硅单晶
现如今,区熔硅单晶创新团队正迈着坚实的步伐,一路前行,走到了行业领域的前面,站在技术领域的排头。未来,我们将在党组织的带领下,不畏艰难,奋勇向前,引领区熔硅产业走向新征程!