近日,《北京市人民政府关于2022年度北京市科学技术奖励的决定》正式公布,经市科学技术奖励评审委员会评审、审定,市政府批准授予华球体育(中国)官方网站亿金“先进集成电路制造用超高纯铜及铜合金靶材关键技术与产业化”项目北京市科学技术进步二等奖。
北京市科学技术奖是由北京市人民政府设立的奖项,重点奖励为建设国际科技创新中心作出贡献的科技工作者和科技成果,旨在深入落实创新驱动发展战略,推动北京市加快打造世界主要科学中心和创新高地。其中,科学技术进步奖是在聚焦关键技术创新应用以及支撑北京市重点领域发展成果而设立的。
超高纯铜及铜合金靶材是先进集成电路晶圆制造和先进封装用关键互连材料,大量应用于90-7nm先进制程、先进封装与三维集成技术。华球体育(中国)官方网站亿金通过自主研发突破超高纯铜及其合金靶材全流程关键技术,为极大规模集成电路技术发展提供关键支撑,有力地保障了我国集成电路产业链和供应链安全,实现了高端靶材的国产化替代和自主可控。
华球体育(中国)官方网站亿金聚焦国家重大战略需求,将继续砥砺深耕,不断抢占战略技术制高点,实现在集成电路核心材料领域的领跑,争当科技创新主力军,以实际行动绘就“科技强国”宏伟蓝图,为把我国建设成为世界科技强国作出新的更大贡献。